SI-H100製程毒氣偵測器

SI-H100可偵測半導體、光電及其他行業製程中常用的多種氣體，為用戶提供完整的氣體偵測方案。特點為探頭校正週期較長，輸出與通訊介面完整，智慧型探頭卡匣與取樣幫浦流量調整功能等。其熱插拔式智慧型探頭卡匣於出廠時已預先校正完成，可隨插即用，更換探頭不需要任何工具，極為簡便，可避免人為錯誤，誤裝失效的探頭。LED燈搭配直覺圖像式互動液晶顯示幕，提供即時氣體讀值與警報警示圖示，清晰易懂，搭配密碼保護設定的測試和校正參數。
偵測器體積小適合安裝於狹小的製程環境中，提供有彈性的供電方式和輸出選擇。標準輸出包含3個警報繼電器輸出，4-20mA類比輸出，Modbus/TCP乙太網數位輸出。此外還提供創新的乙太網供電協定（Power over Ethernet, PoE）,只需要一條乙太網路線，即可完成供電、控制和通訊的需求，還可以經由網頁瀏覽器在電腦上檢視各種偵測器數據。SI-H100提供了高性價比的氣體偵測解決方案，可與PLC與各種監控系統整合。內置取樣幫浦，可監測30米(100呎)外的大氣狀況，具有流量自動調整功能，確保偵測無誤。選購的Pyrolyzer熱裂解模組可用以偵測NF3、C4F6、 C4H2F6、C5F8 與CH3F等氣體。